防止潔凈室靜電放電的方法         上海   

一種防止潔凈室靜電放電的方法，可于一具有一層流裝置的潔凈室中去除靜電荷，該潔凈室中具有一層流裝置，設置于該潔凈室的天花板上；本發明先至少一設置于該層流的中具有一*高度的離子產生器，該離子產生器包含有至少一發射管，且各該發射管的至少一輸出端正對于該天花板，然后再至少一設置于該層流的中且具有一第二高度的傳輸系統，用以傳送至少一載具，zui后利用至少一電壓源施加于各該發射管之上，以去除該潔凈室中的靜電荷；本發明將該離子產生器的發射管的輸出端正對于該天花板，可避免因電場強度會過規格的上限而對自動傳輸軌道上的載具所攜的材料造成破壞．